SiC涂层石墨基座Pocket设计的研究

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单位上海东洋炭素有限公司;
来源炭素
出版年2017
期号02
摘要
通过设计用于MOCVD的多种Pocket规格的2"-54片的SiC涂层石墨基座,进行LED外延生长得出Pocket台阶高度、Pocket底部形状与波长的关系,从而设计合适规格的量产SiC涂层石墨基座。

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