在铜衬底通过低压化学气相淀积(LPCVD)和溶胶-凝胶法直接制备氧化锌/石墨烯纳米薄膜。分析退火温度对其结构、形态、化学状态和成分、光学性能的影响。XRD分析表明,氧化锌/石墨烯纳米结构表现出六方纤锌矿结构,晶体质量随退火温度从500℃到700℃的增加而提高。当退火温度达到700℃时,SEM显示,氧化锌薄膜呈现出颗粒均匀密集、表面光滑。其薄膜的平均颗粒尺寸约为35.7 nm。PL测量显示,退火温度为700℃时,氧化锌/石墨纳米薄膜具有较好的光学性能,这是因为样品的结晶质量较高且缺陷密度较低。