利用恒电压电泳沉积方法在单晶硅(100)表面通过控制不同沉积时间制备了氧化石墨烯薄膜。利用AFM对薄膜的表面形貌进行了观察;采用拉曼光谱仪和X射线光电子能谱仪对薄膜的表面元素化学状态和结构进行了表征;利用原位纳米压痕仪和旋转摩擦测试仪对薄膜的力学性能和摩擦学性能进行了测试。结果表明,恒电压电泳沉积氧化石墨烯是一个沉积速率逐渐减小,先沉积大片径氧化石墨烯,后沉积小片径氧化石墨烯的过程,并且力学性能逐渐增强。摩擦学性能表征发现含氧基团和缺陷越少的氧化石墨烯更有利于减摩抗磨。