基于光场调制的纳秒激光图案化石墨烯研究

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单位中国工程物理研究院流体物理研究所;中国工程物理研究院高能激光科学与技术重点实验室;
来源强激光与粒子束
出版年2018
期号12
摘要
激光加工技术在石墨烯制备领域得到了许多应用。目前激光图案化石墨烯的方法多为激光逐点扫描,而单次辐照实现图案化加工的方法鲜有报道。通过间光调制器改变激光的光场,使光束聚焦成图案,单次辐照直接在石墨烯样品上烧蚀实现图案化。控制激光能量为合适的值时可将石墨烯清晰地图案化而不损伤硅基底。通过拉曼光谱扫描成像发现石墨烯加工边缘清晰,精度达到μm量级,具有加工速度快、无需移动样品等特点。

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