原子力显微镜可用于石墨烯厚度的测定。列举三种常用的原子力显微镜厚度数据处理方法:平均值法、最小二乘法和直方图法。从石墨烯原子力显微镜测试图像中选取216组横向截面高度数据,从原理、结果分析、优缺点等方面对三种数据处理方法进行对比和探讨。结果表明:三种数据处理方法所得厚度结果的相关性极强;平均值法和最小二乘法的厚度计算在数学上是等价的,计算过程均不受数据量影响,最小二乘法拟合的斜率可反映台阶倾斜情况;直方图法可以有效减少吸附污染物和噪声效应对厚度计算的影响,数据量过少不利于高斯拟合,且数据量越大高斯拟合越精准,在数据量较多的情况下宜采用直方图法。