建立了不同硅碳比和不同空位缺陷率的多层硅掺杂石墨烯纳米材料的分子动力学模型,研究了各自的弛豫性能,通过模拟发现所有模型都有着明显的褶皱现象.通过对空位缺陷率为2%,硅碳比分别为0%、1.43%、2.87%、4.3%和5.74%的模型弛豫性能的模拟,发现硅原子数目对模型表面褶皱和波峰的影响较大,且随着硅原子数目的增多而更加明显.通过对硅碳比为1.435%的三层硅掺杂石墨烯模型的弛豫性能模拟,发现当空位缺陷率分别为0%、1%、2%、3%、4%和5%时,空位缺陷率越大,模型系统势能越高,体积越大.结果表明硅碳比和空位缺陷率对系统的温度和平均应力等其他弛豫性能影响较小,可以忽略.