氧化石墨烯薄膜(GO薄膜)由于含氧官能团的存在,对气体具有独特的渗透性能。研究氧化石墨烯薄膜的渗透性,可为超灵敏度检漏技术提供极小的漏率,解决小型真空器件的长寿命问题。采用真空抽滤的方法制作了GO薄膜,并以该薄膜作为流导元件制作漏孔;以氦质谱检漏仪为核心分析设备,建立漏孔漏率测试系统,分别研究了GO薄膜漏孔的漏率与GO薄膜厚度和两侧压力差的关系。结果表明,GO薄膜漏孔的漏率与薄膜两侧压力差呈线性关系。当GO薄膜厚度小于600 nm时,漏率与厚度呈指数关系;厚度在600~1 800 nm时,漏率呈负线性关系。依据此特性,制备了极小漏率漏孔,可为研究超灵敏度检漏技术提供支持。