高性能石墨烯/硅纳米线阵列异质结光探测器

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单位中国电子科技集团公司第四十八研究所;高性能智能传感器及检测系统湖南省重点实验室;薄膜传感技术湖南省国防重点实验室;
来源激光与红外
出版年2022
期号11
摘要
设计了基于石墨烯/硅纳米线阵列异质结的高灵敏度自驱动光探测器。该探测器中的纳米线阵列为直径约为100 nm的周期性结构,表面纳米结构的光捕获效应可以有效地抑制入射光的反射,增加了有效光照面积,增强了异质结的吸收,从而提高了器件的光电检测性能。实验制备出的异质结在±3 V偏压下表现出明显的电流整流特性,整流比为6.93×10~5。此外,由于纳米线阵列的光捕获效应增强了探测器在紫外到近红外的吸收,所以该探测器的探测范围可以从紫外到近红外光。在入射波长810 nm、光强为90μW/cm~2的光照下,光探测器的光电流响应度可以达到0.56 A·W~(-1),光电压响应度达1.24×10~6 V·W~(-1),探测率为1.18×10~(12) Jones。更重要的是,该器件具有30/32μs的快速升/降响应速度。

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