SiC涂层石墨基座技术及产业发展研究

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作者王玉
单位北京新材料和新能源科技发展中心;
来源新材料产业
出版年2022
期号03
摘要
<正>1碳化硅(SiC)涂层石墨基座基本情况1.1基本概念SiC涂层石墨基座常用于金属有机物化学气相沉积(MOCVD)设备中支撑和加热单晶衬底的部件(图1)。MOCVD设备是化合物半导体单晶衬底外延生长的研发及产业化关键设备,

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