石墨舟定位机构的设计与优化

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单位中国电子科技集团公司第二研究所;
来源山西电子技术
出版年2022
期号03
摘要
介绍了光伏太阳能电池片产生的PECVD工序中石墨舟精准定位的重要性,设计了一种新型的石墨舟定位机构,阐述了其工作原理,利用Solidworks的Simulation模块对石墨舟定位机构分别进行建模和变形分析,提出了装配方法,保证了定位基准面的安装精度。

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