卷对卷化学气相沉积法制备石墨烯(英文)

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作者梁明昊 ; 钱凌轩 ; 侯雨婷 ; 李俊 ; 沈长青 ; 青芳竹 ; 李雪松
单位State Key Laboratory of Electronic Thin Films and Integrated Devices, University of Electronic Science and Technology of China;School of Electronic Science and Engineering, University of Electronic Science and Technology of China;Shenzhen Institute for Advanced Study, University of Electronic Science and Technology of China;
来源Science China(Materials)
出版年2022
期号04
摘要
批到批(B2B)和卷到卷(R2R)工艺均可用于石墨烯薄膜的大规模生产.由于设备简单, B2B工艺在实验室研究中非常普遍.相对而言,R2R工艺更容易自动化,并且与随后的转移过程更兼容,因此在工业上更受青睐.目前,对R2R工艺的研究主要集中在反应器设计或装料结构等方面,对石墨烯生长动力学缺乏深入的了解.本文通过研究石墨烯的生长演化过程,发现在相同的反应参数下, R2R工艺的石墨烯晶畴密度大于B2B工艺的石墨烯畴密度,其原因归结于两种工艺不同的反应过程;而通过延长反应时间,可以对石墨烯薄膜的缺陷进行修复.在优化的R2R工艺下,可以获得与常规B2B工艺相当的高质量石墨烯薄膜.本工作可促进石墨烯薄膜制备技术的发展.

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