本文旨在获得高纯度的氦气,通过对杂质组分的分析,确定了分子筛去除水分、低温活性炭吸附氧气联合应用的净化方法。针对分子筛除水和低温活性炭吸附氧气,分别开展了吸附压力、吸附柱高径比、空速等影响因素研究。结果表明:分子筛除水的最优化条件是:吸附压力为0.2 Mpa,径高比为1∶5,空速为10 min~(-1)。通过以上方法联合应用可将氦气中的水分和氧气杂质均降低到1 ppmv以下。