采用等离子发射检测器(PED)和氦离子放电检测器(DID)对重量法制备的氦气中微量氖气进行了检测,对比了微量氖气在两种检测器上的灵敏度和重复性。结果显示,PED对氖气的检测灵敏度较高,氖气含量在0.03~0.3μmol/mol范围与响应值呈良好的线性关系,r2=1.000,检测限小于1 nmol/mol,测定结果的相对偏差小于2%(n=6)。利用大气压离子质谱仪对检测限测试结果进行了验证。采用等离子发射检测器检测氦气中微量氖气的方法,可以降低微量氖气标准物质的定值不确定度,为研制高准确度微量氖气标准物质奠定基础。