大气压双频氦气放电特性的数值模拟研究

查看详情 浏览次数:1
单位辽宁石油化工大学理学院;三束材料改性教育部重点实验室(大连理工大学);
来源真空科学与技术学报
出版年2018
期号07
摘要
采用1-D流体模型对大气压裸金属电极结构的双频驱动氦气放电特性进行了研究。模型中考虑了氦等离子体放电过程中的6种粒子和13个基本反应过程。研究了双频调制大气压氦气放电中高低频电压、高低频频率等不同匹配方式对等离子体参数的影响,并且通过对电子密度、电场强度、电流密度以及电子加热机制等分析了大气压氦气放电双频调控机制。研究表明:高频源电压及高频源频率对放电特性的影响要大于低频源电压和频率;电子密度、电子温度等随着高频源电压和频率的增加而增加,随着低频源电压的增加而减小,低频源频率将不影响电子密度及电子温度。本文的研究为大气压气体放电提供了更多的优化等离子体参数的手段。

@ 2023 版权所有 中国地质图书馆 (中国地质调查局地学文献中心)

京ICP备 05064591号 京公网安备11010802017129号

建议浏览器: 火狐、谷歌、微软 Edge、不支持 IE