稀土元素分析方法主要有X射线荧光光谱法(WD-XRF和ED-XRF)、仪器中子活化分析(INAA)、电感耦合等离子体发射光谱法(ICP-OES)、电感耦合等离子体质谱(ICP-MS)等。其中,电感耦合等离子体发射光谱法、电感耦合等离子体质谱法因其优异的分析性能、检测范围、准确性等特点,在地质学上的应用最为广泛。自20世纪80年代起便趋于成熟并应用于地质学上的多个方面,近年来,随着高精密仪器的不断开发应用,以及测试方法的不断改进和完善,更加丰富稀土元素分析测试方法在地质学上的应用。