通过溶胶-凝胶法于石英基片表面制备镨掺杂纳米钡铁氧体薄膜,探讨了Fe/Ba比率、预烧结温度、预烧结时间、柠檬酸配比等参数对钡铁氧体薄膜物相的影响。结果表明:镨掺杂钡铁氧体薄膜的最佳制备工艺参数为Fe/Ba=9,柠檬酸与金属离子的物质的量比为2.5∶1,柠檬酸与乙二醇的物质量比1∶2,预烧温度为370℃,预烧时间为0.5 h,焙烧温度为900℃,时间为2 h左右。