薄膜光伏器件由于其低成本、高效率、易加工和柔性便携等优点,被认为是最具应用前景的新型太阳能电池,因而受到广泛研究和关注[1]。其中,黄铜矿结构的铜铟镓硒薄膜太阳电池(CIGS)是目前效率唯一可以和单晶硅太阳能电池可比的薄膜太阳电池,是太阳能电池材料体系中能够同时兼顾高效率和低成本的、最好的和最现实的体系[2]。在该研究工作中,利用磁控溅射工艺制备了高质量的CIGS吸收层,通过对溅射工艺条件的优化和