铌酸锂(LiNbO₃,LN)是赝钙钛矿结构,属于R3c空间^[1]。体单晶铌酸锂有着优良的铁电,压电,非线性光学和光电效应^[2],因此,它一直是研究热点。而LiNb₃薄膜材料的一些性能更优于体材料,例如它更易掺杂,生长多层结构等^[3],有望制备性能更优异的光电集成器件,使得近年来LiNbO₃薄膜受到科研工作者的关注。把LiNbO₃生长在Si片上有望实现光电集成。我们利用脉冲