铜铁矿结构CuAlO2薄膜作为最早发现的p型透明导电氧化物材料,对透明LED、透明晶体管、透明光伏电池等全透明光电器件的实现具有重大意义,极大推动了透明导电氧化物材料(TCO)研究的进步发展,具有深远的潜力。但是制备结晶质量良好的CuAlO2薄膜比较困难,且CuAlO2薄膜导电能力不足,需要通过退火、掺杂等手段加以改进。本文采用脉冲激光沉积(PLD)法制备Mg掺杂CuAlO2薄膜,并对薄膜的微观结