硒化铜铟镓(CuInxGa(1-x)Se2, CIGS)薄膜型太阳能电池是目前最先进的薄膜型太阳能电池之一,主要的制备方法为溅镀法,然而溅镀用靶材使用率仅约30%,仍有其余70%是必须要回收再利用的,为了提升CIGS太阳能产业竞争力及资源永续之效,必须兼顾其经济效益与提升其环保价值并降低环境污染。因此,建立CIGS残靶回收技术是非常重要的。 本研究於硫酸环境下通过常压与高压釜浸出硒化铜铟镓残靶并使用过氧化氢作为氧化剂,藉以获得较高之硒化铜铟镓回收率。并利用X光绕射仪与电子显微镜建立硒化铜铟镓酸蚀反应之机构;过氧化氢与酸首先溶解硒化铜铟镓表层,造成富铜硒化物生成并披覆於表面,而其分解速率则是酸蚀机构之速率决定步骤。本研究指出於温度140℃硫酸浓度3M并添加过氧化氢作为氧化剂经反应4小时可得到99.9%的铜、铟、镓回收率;另外,本研究亦透过焙烧-浸取制程可大幅提升浸渍效率,并将回收工艺结合再合成技术得到奈米级铜铟镓硒粉体,可使其再次回用於市场供应链上,达到资源永续利用之目的。