为了降低低浓度煤层气深冷液化装置中变压吸附(PSA)制氮机的能耗,提高单位压缩空气的产氮率,对目前常用的PSA制氮机的工艺流程进行了改进。根据制氮工序的放空尾气具有余压的特点,增设尾气回收罐,将制氮过程中产生的尾气储存在尾气回收罐内,然后将回收罐内的尾气通入干燥塔,利用尾气代替干燥空气来反吹前端干燥塔,实现干燥塔的再生,将干燥空气全部用作制氮的原料气。制氮工艺流程改进后,尾气的余压得到了充分利用,在同样的空气进气量的情况下可以生产更多的氮气,从而达到节能的目的。