本文基于溶胶凝胶法在Pt(111)/Ti/SiO₂/Si(100)基底上,利用自发的离子扩散效应,采用梯度补偿的方法制备了不同梯度的PZT薄膜,同时研究了镧掺杂对不同梯度锆钛酸铅薄膜的晶向结构、微观形貌、介电性能、铁电性能以及疲劳性能的影响。XRD图谱显示无掺杂的单层薄膜和无梯度薄膜均呈现(100)取向,而梯度增强薄膜呈现随机取向,掺杂的PZT薄膜(100)取向被抑制,SEM结果分析表明样品为完全的钙钛矿结构,无梯度薄膜具有更高的介电系数,掺杂明显提高了介电系数,达到了1196.2,剩余极化强度得到改善,2Pr达到了26.21 μC/cm²,此时的矫顽场强Ec为44.4 kV/cm,疲劳测试结果表明,掺杂的无梯度薄膜疲劳性能得到了明显改善。