0.655PMN-0.345PT 压电陶瓷流延成型工艺研究

查看详情 浏览次数:1
单位北方通用电子集团有限公司微电子部
来源科技创新与应用
出版年2021
期号第5期
摘要
文章利用前驱体法和流延成型法先后制备了具有纯铌铁矿相结构MgNb2O6前驱体以及纯钙钛矿相的0.655Pb(Mg1/3Nb2/3)O3-0.345PbTiO3(0.655PMN-0.345PT)压电陶瓷。利用X射线衍射仪和扫描电子显微镜等设备,研究了烧结温度对压电陶瓷物理性能、微观形貌和电性能的影响。结果表明:烧结温度为1200℃时,陶瓷的综合性能最好,压电常数d33=700pC/N,机电耦合系数kp=0.605,介电常数εr=4.77×103,介电损耗tanδ=0.016,剩余极化强度Pr=30.68μC/cm2。

@ 2023 版权所有 中国地质图书馆 (中国地质调查局地学文献中心)

京ICP备 05064591号 京公网安备11010802017129号

建议浏览器: 火狐、谷歌、微软 Edge、不支持 IE