金属铍具有耐高温、耐腐蚀特点,是国防军工和航空航天等领域不可替代的金属材料.然而,由于缺乏铍元素微区无损定量分析技术,制约了诸如铍元素在矿物中赋存状态、铍超常富集机制等相关基础研究和找矿勘查技术的发展.虽然电子探针具有矿物微区定量分析的优势,但是目前还没有有效的对超轻元素Be的分析技术.本研究选择日本电子两种不同型号的电子探针(JEOL JXA-8800和JXA-8100),配置不同分光晶体(LDEB和LDE3H),对绿柱石中铍的定量分析方法进行了研究,结果以加速电压10 kV、束流20 nA、分光晶体为LDE3H、Base=1, window=5、slit为open、微分模式(differential)、峰位测量时间为50 s、背景测量25 s、标样为金属Be为最佳条件.该方法测试绿柱石中Be的检测限低于250 ppm(1 ppm=1μg/g), BeO的标准误差σ=0.52 wt%.此外,对造成铍测试困难的原因、分析过程中出现的现象、条件设置等,在理论上进行了剖析.这不仅为同行电子探针测试Be元素提供了较成熟的测试经验,而且也为铍资源的相关研究和找矿勘查提供了技术支撑.