以无水四氯化锆和正硅酸乙酯为原料,氟化锂为矿化剂,通过调整表面活性剂的种类及添加量,采用非水解溶胶-凝胶法可以制备出表面光滑致密的硅酸锆薄膜。利用X射线衍射仪(XRD)和场发射扫描电子显微镜(FESEM)分析了产物的形貌和晶体结构,通过红外光谱(FT-IR)分析了样品有机官能团变化。实验结果表明相比于非离子表面活性剂聚乙二醇(PEG200)、聚乙烯醇缩丁醛(PVB)和阳离子型表面活性剂十六烷基三甲基溴化铵(CTAB),四丁基溴化铵(TBAB)作为一种低沸点短链结构的阳离子表面活性剂更有利于致密硅酸锆薄膜的制备。在回流后的硅酸锆溶胶中添加3wt.%的TBAB不会影响SiO-Zr异质聚合反应,可以获得致密的纯相硅酸锆薄膜。